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X射线荧光光谱仪(XRF)的测量完全无损，没有破坏性。在无铅制造、RoHS及玩具与消费产品中的重金属检测上有很好的应用。奥林巴斯手持式ROHS光谱仪分析仪检测仪硅漂移检测器(FastTM SDD检测器)，激发电压50 kV，提供了的分析速度。有害元素如铅,水银(汞)、铬(Cr)、砷(As)、锑(Sb)和钡(Ba)都可以检测到PPM级水平。
欧盟对有害物质的限制(ROHS-II)和2008年美国CPSIA在玩具中对铅含量的限制使用，使得越来越多制造商开始重视使用奥林巴斯手持式ROHS光谱仪分析仪检测仪对产品中的有害化学物质进行筛检。奥林巴斯手持式ROHS光谱仪分析仪检测仪现已成为对原料重金属和其他受限制的物质进行筛检的理想工具。同时，美国消费者产品安全委员也特别肯定和支持了手持光谱仪作为一个有效的检测手段。
当材料暴露在短波长X光检查，或伽马射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补以前的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是相等两个轨道的能量差异的。因此，物质放射出的辐射，这是原子的能量特性。
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